Please use this identifier to cite or link to this item:
http://thuvienso.dut.udn.vn/handle/DUT/9618| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Pham, Thi Thao Khuong | en_US |
| dc.contributor.author | Pham, Van Phat | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-08-18T04:48:45Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-18T04:48:45Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.uri | http://thuvienso.dut.udn.vn/handle/DUT/9618 | - |
| dc.language.iso | vi | en_US |
| dc.publisher | Đại học Đà Nẵng | en_US |
| dc.subject | Thanh công xon | en_US |
| dc.subject | Quang khắc | en_US |
| dc.subject | MEMS | en_US |
| dc.title | Chế tạo và kiểm tra đặc điểm của thanh mềm công xôn ở kích thướt micro | en_US |
| dc.title | Micro cantilever beam fabrication and characterization | en_US |
| dc.type | Tạp chí | en_US |
| dc.identifier.doi | 1859-1531 | - |
| item.languageiso639-1 | vi | - |
| item.cerifentitytype | Publications | - |
| item.fulltext | Không kèm toàn văn | - |
| item.grantfulltext | none | - |
| item.openairecristype | http://purl.org/coar/resource_type/c_18cf | - |
| item.openairetype | Tạp chí | - |
| Appears in Collections: | Tạp chí Khoa học và Công nghệ ĐHĐN - Vol.20, No.11.2 - 2022 | |
CORE Recommender
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.