Vui lòng dùng định danh này để trích dẫn hoặc liên kết đến tài liệu này:
http://thuvienso.dut.udn.vn/handle/DUT/9618| Nhan đề: | Chế tạo và kiểm tra đặc điểm của thanh mềm công xôn ở kích thướt micro Micro cantilever beam fabrication and characterization |
Tác giả: | Pham, Thi Thao Khuong Pham, Van Phat |
Từ khoá: | Thanh công xon;Quang khắc;MEMS | Năm xuất bản: | 2022 | Nhà xuất bản: | Đại học Đà Nẵng | Định danh: | http://thuvienso.dut.udn.vn/handle/DUT/9618 | DOI: | 1859-1531 |
| Bộ sưu tập: | Tạp chí Khoa học và Công nghệ ĐHĐN - Vol.20, No.11.2 - 2022 |
Hiển thị đầy đủ biểu ghi tài liệu
Các đề xuất từ CORE
Khi sử dụng các tài liệu trong Hệ thống quản lý thông tin nghiên cứu phải tuân thủ Luật bản quyền.