Please use this identifier to cite or link to this item:
http://thuvienso.dut.udn.vn/handle/DUT/9618| Title: | Chế tạo và kiểm tra đặc điểm của thanh mềm công xôn ở kích thướt micro Micro cantilever beam fabrication and characterization |
Authors: | Pham, Thi Thao Khuong Pham, Van Phat |
Keywords: | Thanh công xon;Quang khắc;MEMS | Issue Date: | 2022 | Publisher: | Đại học Đà Nẵng | URI: | http://thuvienso.dut.udn.vn/handle/DUT/9618 | DOI: | 1859-1531 |
| Appears in Collections: | Tạp chí Khoa học và Công nghệ ĐHĐN - Vol.20, No.11.2 - 2022 |
Show full item record
CORE Recommender
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.